Produzione di film sottili di ossido di zinco mediante pirolisi spray

In questo lavoro viene dimostrato lo sviluppo di diverse serie di film sottili di ossido di zinco mediante pirolisi spray in diverse condizioni di deposizione. Vengono inoltre descritte le varie tecniche utilizzate (profilometro, diffrazione di raggi X, spettrofotometria UV-Visibile, elipsometro a cancellazione e tecnica a due punte in configurazione complanare) per studiare le proprietà strutturali, ottiche ed elettriche di questi film (spessori degli strati, dimensioni dei grani, tensioni, indice di rifrazione, band gap, parametro di Urbach, conducibilità elettrica ed energia di attivazione). I film ottenuti sono policristallini con una singola struttura di fase esagonale würtzite. L’analisi degli spettri di trasmittanza e l’aumento della conduttività con la temperatura di misura mostrano che è possibile ottenere film sottili di ZnO trasparenti e semiconduttori.