Herstellung von dünnen Zinkoxidschichten durch Spraypyrolyse

In dieser Arbeit wird die Entwicklung mehrerer Serien von Zinkoxid-Dünnschichten durch Spraypyrolyse unter verschiedenen Abscheidungsbedingungen demonstriert. Die verschiedenen Techniken, die zur Untersuchung der strukturellen, optischen und elektrischen Eigenschaften dieser Filme verwendet wurden (Schichtdicken, Korngrößen, Spannungen, Brechungsindex, Bandlücke, Urbach-Parameter, elektrische Leitfähigkeit und Aktivierungsenergie), werden ebenfalls beschrieben (Profilometer, Röntgenbeugung, UV-Visible-Spektrophotometrie, Annullierungs-Ellipsometer und die Doppelspitzentechnik in einer koplanaren Konfiguration). Die erhaltenen Filme sind polykristallin mit einer Struktur, die aus einer einzigen hexagonalen Würtzit-Phase besteht. Die Analyse der Transmissionsspektren mit dem Anstieg der Leitfähigkeit mit der Messtemperatur zeigt, dass es möglich ist, transparente und halbleitende Dünnschichten aus ZnO zu erhalten.