Zbadaj charakterystykę nanostruktury krzemowej przygotowanej metodą PEC

W niniejszej pracy nanostrukturalna warstwa porowatego krzemu (PS) została wytworzona metodą PEC przy użyciu diody laserowej 650 nm o różnych gęstościach mocy oświetlenia dla podłoża krzemowego typu n o rezystywności (10 Ω.cm) i HF 48,5% oraz etanolu (99%) (1:1). Zbadano właściwości morfologiczne, optyczne i elektryczne. Właściwości te zbadano przy użyciu naszego modelu matematycznego, który reprezentuje właściwości elektryczne. Właściwości elektryczne warstwy porowatego krzemu klasyfikuje się zgodnie z właściwościami strukturalnymi i udowodniono, że właściwości elektryczne zależą od względnej przenikalności elektrycznej zgodnie z tą klasyfikacją. W przypadku niskiej gęstości mocy charakterystyka J-v wydaje się nieprostująca, a porowaty krzem zachowuje się jak kontakt omowy, wysoka gęstość mocy lasera powoduje powstanie złącza prostującego, które zachowuje się jak kontakt omowy, a długi czas trawienia powoduje zachowanie się złącza jak złącze Schottky’ego, natomiast przy (200 mW/cm2) złącze zachowuje się jak dioda heterozłączowa.